TFX4000E——薄膜厚度測量設備
l 可量測多種材料薄膜
l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應力測量
l 輸出產能高，具有較高的性價比
l 可量測范圍更寬廣，超厚膜和超薄膜量測能力更穩定
l 全新橢圓偏振光路設計
l 機械運動性能可靠，穩定性表現卓越
TFX3000P——薄膜厚度測量設備
l 可量測多種材料薄膜
l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應力測量
l 低持有成本（COO），輸出產能高，具有極高的性價比
l 機械運動性能可靠，穩定性表現卓越
l 功能豐富、易用的軟件和算法
l 全面支持工廠自動化要求
TFX3200——薄膜厚度測量設備
l 可量測多種材料薄膜
l 提供薄膜可靠和精確的厚度、折射率、成分比率和應力測量
l 低持有成本（COO），輸出產能高，具有極高的性價比
l 機械運動性能可靠，穩定性表現卓越
l 功能豐富、易用的軟件和算法
滬公網安備 31011502016946號