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FSD158e——外觀缺陷檢測設備
FSD158e——外觀缺陷檢測設備 l 應用于2寸,3寸、4寸、5寸及6寸圖形或無圖形晶圓 l 適用于LED、化合物半導體以及光通訊等領域 l 配置自主開發的缺陷檢測增強算法 l 低持有成本、高穩定性和高可靠性的設計 l 具備晶圓全表面檢測、自動缺陷分類以及高分辨率的缺陷復查功能 l 支持工廠自動數據傳遞