FSD158e——外觀缺陷檢測設備

l 應用于2寸，3寸、4寸、5寸及6寸圖形或無圖形晶圓

l 適用于LED、化合物半導體以及光通訊等領域

l 配置自主開發的缺陷檢測增強算法

l 低持有成本、高穩定性和高可靠性的設計

l 具備晶圓全表面檢測、自動缺陷分類以及高分辨率的缺陷復查功能

l 自動存儲缺陷圖像系統

l 支持工廠自動數據傳遞